Техническая и методическая поддержка
Научно-технические консультации
Поставка, установка, инжиниринг

HR-GDMS

Артикул: DD3211
Производитель: КНР

Масс-спектрометр высокого разрешения с ионизацией образца тлеющим разрядом (GD-MS). Прибор позволяет одновременно определять матричные, так и примесные элементы (диапазон определяемых концентраций от долей ppb до 100%) за одно измерение и применяется в таких областях, как производство высокочистых металлов, полупроводниковых материалов и подложек, материалов для аэрокосмической промышленности и др.

Запросить стоимость
Описание
Спецификация
  • Одновременное определение элементов в диапазоне концентраций от ультранизких до основных
  • Пределы обнаружения на уровне 10-10%
  • Анализ как проводящих, так и непроводящих материалов
  • Простая пробоподготовка для токопроводящих материалов
  • Анализ образцов практически любой формы
  • Бесстандартная калибровка с использованием встроенной библиотеки коэффициентов относительной чувствительности

Ключевые особенности

  • Масс-спектрометр высокого разрешения с двойной фокусировкой
  • Возможность проведения количественного анализа как цилиндрических образцов-стержней, так и образцов в виде таблетки
  • Охлаждаемая жидким азотом камера с образцом
  • Простая смена образцов
  • Программная настройка разрешающей способности масс-спектрометра
  • Широчайший динамический диапазон - детектор Фарадея и электронный умножитель обеспечивают одновременную регистрацию в 12 порядках
  • Современная передовая электроника
  • Современный пакет управляющих и обрабатывающих программ
  • Высокая надежность

Ионизация

  • Генератор тлеющего разряда основан на хорошо зарекомендовавшем себя генераторе GD-MS VG9000 и является его усовершенствованной версией. Создаваемый тлеющий разряд низкого давления позволяет достигать максимальной стабильности сигнала одновременно с высокой чувствительностью. Атомы выбиваются с поверхности образца и ионизируются под воздействием тлеющего разряда
  • Блок загрузки  подходит для образцов как в виде дисков, так и стержней
  • Все аналитические ячейки изготовлены из тантала высокой чистоты – это способствует минимальному влиянию материала держателя образца на результаты анализа.
  • Также ячейки можно охлаждать с помощью жидкого азота, что позволяет значительно уменьшить фоновый сигнал атмосферных газов (C, N, O) и улучшить пределы и точность определения концентраций этих элементов, а также работать с легкоплавкими образцами (например, с чистыми галлием и индием).

Система с двойной фокусировкой

  • Масс-спектрометр оснащается анализатором ионов с двойной фокусировкой, который состоит из электростатического радиусом 32 см и следующего за ним секторного магнитного радиусом 25 см.
  • Ионная оптика позволяет добиваться высочайших характеристик одновременно с регулируемым разрешением.
  • Рабочий диапазон определяемого отношения массы к заряду – от 2 до 250, причем система позволяет совершать быстрые переходы к интересующим массам с минимальным влиянием гистерезиса.
  • Контроль величины магнитного поля осуществляется при помощи датчика Холла с температурной компенсацией с оцифровкой высокоточным 24-битным контроллером

Вакуумная система

  • Прибор оборудован тремя зонами низкого давления: 1.Вакуумирование отсека для загрузки образца 2.Вакуумирование отсека с тлеющим разрядом производится турбомолекулярным насосом ; 3.Рабочее давление в системе анализатора и коллекторе составляет 10(-8)-10(-9) мбар.
  • Тракт вакуумируется при помощи второго турбомолекулярного насоса, подключенного к основному форвакуумному насосу. Дополнительно, два ионных насоса поддерживают низкое давление в районе собственно масс-спектрометра, один подключен возле электростатического анализатора, второй возле коллектора. Давление измеряется несколькими манометрами типа Пирани и Пеннинга (в зависимости от измеряемого давления) и регулируется системой автоматических клапанов. Контроль давления постоянно осуществляется программным обеспечением.
  • Вакуумная система полностью автоматизирована и уровень вакуума поддерживается в системе даже в случае отключения электропитания. Схема расположения манометров и клапанов, а также значения рабочих давлений, показаны на схеме.

Система охлаждения

Охлаждение образца и отсека с тлеющим разрядом осуществляется при помощи жидкого азота. Это позволяет снизить влияние фона на аналитический сигнал, а также проводить прямой анализ элементов с низкой температурой плавления, таких как галлий и индий. Требуется сосуд Дьюара для жидкого азота емкостью 120-200 л. Охлаждение турбонасосов, используемых для создания вакуума, осуществляется при помощи водяного чиллера, поставляемого вместе со спектрометром в стандартной комплектации.

Детекторы

  • Для определения концентрации основных (матричных) элементов и для первичного сканирования используется детектор Фарадея.  динамический диапазон – 6 порядков.
  • Для определения концентраций примесей прибор переключается на работу с электронным умножителем, который позволяет измерять низкие концентрации вплоть до 10(-10) % (доли ppt), и в то же время обладает линейностью в большом диапазоне концентраций. 
  • Полный динамический диапазон прибора составляет 12 порядков, что позволяет за одно измерение определять как концентрации основных компонентов, так минорных и примесных элементов.

Программная оболочка МС  имеет интуитивно понятный интерфейс и стандартные процедуры для включения, настройки, анализа, а также для диагностики прибора. Имеется встроенная библиотека коэффициентов относительной чувствительности для бесстандартной калибровки

Разрешение  программно регулируемое
Разрешающая способность, RP от 450 до 10 000
Усредненный фон не более 0,2 cps
Давление в анализаторе не более 5 * 10-9мбар
Диапазон отношения массы к заряду от 2 до 250 m/z
Стабильность сигнала, относительное стандартное отклонение не более 3% RSD за 10 мин (медь, RP = 4000)не более 5% RSD за 30 мин (медь, RP = 4000)
Стабильность положения пиков не более +/- 25 ppm за 30 мин (на линии меди 63 а.е.м.)
Изотопическая чувствительность отношение масс изотопов62Cu/63Cu < 20 ppb (при RP > 4000)
Заказать
Чтобы оформить заказ, заполните форму. С вами свяжется менеджер и уточнит детали заказа.